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    日本Otsuka顯微分光測厚儀OPTM系列技術(shù)解析

    發(fā)布時間: 2025-07-14  點擊次數(shù): 37次
      日本Otsuka顯微分光測厚儀OPTM系列是一款高精度測量設(shè)備,廣泛應(yīng)用于研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域。該設(shè)備通過顯微分光技術(shù)實現(xiàn)高精度膜厚和光學(xué)常數(shù)測試,具備快速測量、安全結(jié)構(gòu)及個性化定制等功能。OPTM系列顯微分光膜厚儀能夠測量絕對反射率、多層膜厚、折射率和消光系數(shù),納米級測量,精度高。該設(shè)備采用分光干涉法,可進行非破壞性和非接觸式厚度測量,測量速度可達1秒/點。
     
      OPTM系列的技術(shù)特點包括非接觸、非破壞式測量,量測頭可自由集成在客戶系統(tǒng)內(nèi),高精度、高再現(xiàn)性量測紫外到近紅外波段內(nèi)的絕對反射率,可分析多層薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))。單點對焦加量測在1秒內(nèi)完成,顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)(紫外 ~ 近紅外),獨立測試頭對應(yīng)各種inline定制化需求,最小對應(yīng)spot約3μm。
     
      此外,OPTM系列還具有技術(shù),如反射對物鏡,可物理性去除透明基板的里面反射,實現(xiàn)高精度測定。3微米微區(qū)測量功能,通過軟件同時顯示樣品畫面和測定光采取部位,可很好確認到測定點。自動高精度mapping樣品臺,標配XY自動平臺,僅需輸入坐標即可自動多點檢測大面積樣品,實時獲取厚度分布圖。
     
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