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日本pureron排氣過濾器FBA系列
更新日期：2024-05-12
訪問量：709
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址：
簡(jiǎn)要描述：
日本pureron排氣過濾器FBA系列全材質(zhì)用不銹鋼SUS316L優(yōu)良的耐熱性*過濾精度圓筒型過濾體可以從頂端和周圍都排氣
日本pureron排氣過濾器FBA系列
日本pureron排氣過濾器FBA系列
排氣過濾器 FBA系列
制造半導(dǎo)體元器件裝置在裝填-閉鎖真空室（load-lock chamber）和傳送室（transfer chamber）里進(jìn)行真空破壞，那時(shí)候浮粒子會(huì)卷起來和發(fā)生過渡性亂流，這些都會(huì)導(dǎo)致晶片損壞。跟以往的方法：把氮?dú)饩徛卮颠M(jìn)到室內(nèi)—相比，只用FBA排氣過濾器就能夠避免那樣現(xiàn)象且提高生產(chǎn)率。
特點(diǎn)
- 全材質(zhì)用不銹鋼SUS316L
- 優(yōu)良的耐熱性
- *過濾精度
- 圓筒型過濾體可以從頂端和周圍都排氣
| 過濾精度 | 0.003μm |
|---|---|
| 常用壓力 | 1MPa未滿 |
| 使用溫度 | 400℃ |
| 加熱溫度 | 400℃ |
| 接觸氣體材質(zhì) 不銹鋼 | SUS316L |
| 接頭 | 1/4“和3/4”tube，1/4“和1/2”墊圈封口，各種法蘭※ |
排氣過濾器
- FBA系列： 過濾精度0.003μm
特點(diǎn)
- 全材質(zhì)用不銹鋼SUS316L
- 優(yōu)良的耐熱性
- *過濾精度
- 圓筒型過濾體可以從頂端和周圍都排氣
特點(diǎn)
- 全材質(zhì)用不銹鋼SUS316L
- 優(yōu)良的耐熱性
- *過濾精度
- 圓筒型過濾體可以從頂端和周圍都排氣
特點(diǎn)
- 全材質(zhì)用不銹鋼SUS316L
- 優(yōu)良的耐熱性
- *過濾精度
- 圓筒型過濾體可以從頂端和周圍都排氣
特點(diǎn)
- 全材質(zhì)用不銹鋼SUS316L
- 優(yōu)良的耐熱性
- *過濾精度
- 圓筒型過濾體可以從頂端和周圍都排氣
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