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日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701MkⅡ
更新日期：2024-05-14
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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址：
簡要描述：
日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701MkⅡ直流濺射類系列中最小的超緊湊型號一種可以輕松制作電極薄膜的小型濺射裝置標(biāo)配間歇濺射功能TS 之間的距離可以通過專用的樣品臺和載物臺輕松改變。
日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701MkⅡ
特征
直流濺射類系列中最小的超緊湊型號
一種可以輕松制作電極薄膜的小型濺射裝置
標(biāo)配間歇濺射功能
TS 之間的距離可以通過專用的樣品臺和載物臺輕松改變。
應(yīng)用/結(jié)果示例
適用于各種設(shè)備的電極膜附件
用于制造反射薄膜等
日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701MkⅡ
基本規(guī)格
| 陰極 | φ2英寸/平板型電極 |
| 濺射靶 | 包括 Au 目標(biāo) |
| 氣體引入機(jī)制 | 針閥 |
| 間歇功能 | 標(biāo)配 |
| 真空泵 | 直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵：20l/min（帶自動(dòng)漏氣） |
| 腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ90mm x D90mm（SUS制） |
| 樣品交換方式 | 前門開閉式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 本體：160/326 / 286mm 反相：300/160 / 200mm |
| 重量 | 身體：10kg RP：9kg |
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